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这个测量方法其实精度很高,机床维修安装等都用这个,水泡水平仪的最高精度是合像水平仪,可以做到0.01mm/M的分度,长度一般是150/200mm,按照200mm来计算,也就是水平仪的一侧比另一侧高2um的时候就可以准确的测量出来,再加上肉眼的两个刻度之间的读数,所以说理论上是可以分辨每200mm长度之间的1um高差。0 H0 v: `9 \% _5 B$ o
$ s6 W( o. N' t; R 这种测量方法和光学的准直仪其实是一样的原理,反映出来的是夹角,而并不是高度差,所以说要做分段测量,然后把这些读数组合起来,就是直线度了,横竖都测一遍就是平面度了,我那个台面测试一次耗时半小时……主要是水泡式的水平仪读数时间太长了,要气泡完全停住耗时要10秒以上,电子水平仪的理论稳定时间也比较长(由测量原理决定,机械阻尼系数和分辨率成反比),但是可以连续测量曲线,并通过数学公式来计算最终的稳定点,只要阻尼系数校准的足够精确,理论上一组来回的运动就可以得到稳态的那个点,所以测量时间要短得多,基本上2秒读就可以有读数,我也想要一个,只是闲鱼上的最便宜的这玩意也要7000+,听说新的要40000++ U$ k/ A& x, u t$ k0 W
& v* k" g. ]9 x& K. \ 但是这东西的确没有想象中复杂,我也一直想做一个更好用的O-Meter,用电容传感器,短期分辨率可以做到10nm级别,关键是便宜,200块就可以搞一个出来 0 R- T3 O3 v5 |7 i( N1 F- e; q' ~' J6 }! J& A+ _