AMSL光刻机视频，看看纳米机级精度

捱多年 · 发表于 2021-1-6 13:32:07

小晓筱发表于 2021-01-06 13:16
. }) S+ t E/ T9 ?) {1 M其实区别很大，cnc的核心是运动控制，光刻机的核心是光源。我不清楚我们国家为什么要翻译成光刻机我觉得曝光机更合适些。蚀刻的部分由蚀刻机解决。光有波粒二象性，要解决5nm的线路光的波长就不能大于5nm，太难了！我总觉得视频是处理过的，可见光的波长可能有几百nm怎么会有紫色的光。工作时也要真空环境，不然空气的散射、反射就使光刻胶上不能清晰成像。非行业内人士只是谈谈我的理解。

前阵子不是科普了用水改变波长么？所以介质应该是水而不是真空

阿余 · 发表于 2021-1-6 13:52:20

小晓筱发表于 2021-1-6 13:16
$ D5 w. h. m7 D其实区别很大，cnc的核心是运动控制，光刻机的核心是光源。我不清楚我们国家为什么要翻译成光刻机我觉得 ...

原来如此, 谢谢科普 .

老猫学木匠 · 发表于 2021-1-6 21:59:29

阿余发表于 2021-01-05 22:07
; Z4 o* y! l' p7 e4 Y$ H/ v5 G这玩意原理, 好吧, 就是CNC而已. 但是,要高效率干现在的芯片, 是5纳米..
: l+ M) r. i0 k2 W7 d5 [: s6 n3 N& K5 q5 O: U9 p
据说国产最好的, 能做四五十纳米.这玩意, 到这个级别,  增加一点点, 都很难哟.
9 W% S1 o- Y- h# Q1 Z: c: a9 a5 K
; n! [$ F0 R  w0 P) p6 Z就象,你做到5丝精度后, 要再做到1丝, 只提升4丝而已,   那设备价格,  各种要求, 估计要翻几倍哟.
9 o9 S  o0 a2 s) L" g7 s' |
5 p* c  m, j% q, }& g! P更不说这个要弄到5纳米了.

中芯的14纳米量产很久了。

冲哥哥2013 · 发表于 2021-1-6 22:08:41

随风666 发表于 2021-01-06 11:48
# D# m% e3 |, @+ M4 c4 x神油九轴承主轴

九轴承

我滴个乖乖

蓬荜生徽 · 发表于 2021-1-6 22:47:58

小晓筱发表于 2021-1-6 13:16: Q, u& d2 x1 y; y: T5 [2 S$ Q- ]
其实区别很大，cnc的核心是运动控制，光刻机的核心是光源。我不清楚我们国家为什么要翻译成光刻机我觉得 ...

视频是演示动画，目前的7NM也是多次叠加蚀刻实现的，并不是真的有7NM的精度

chattreaty · 发表于 2021-1-7 08:14:42

论坛里真是大神多多，也学习了。我做芯片行业软件的，制造完全不懂

HTY927 · 发表于 2021-1-7 22:35:37

物理设备必须牛逼啊，然后软件控制，样样都得牛逼，光刻机是所有尖端技术的综合！

快睡吧 · 发表于 2021-1-9 20:23:52

外国的高科技能力，在近50年的发展很快，借助数字化对工业化升级到4.0，但总归是为人服务的，其实人是根本，不同的大脑在世界不同发展阶段中产生了不同的结果，我有时候借助大神的脚飘过几亿年，发现任何生命都是在宇宙的大环境下摸爬滚打，恐龙强大吧！还是灭亡了，由此还是适者生存，人瞧不起蚂蚁吧！但在数量和时间上都超过人类，它有百折不挠的生存能力，也有铁一般的纪律，人与人之间争强好胜，总是惯说：“就像踩死个蚂蚁”，今天，世界大疫，病毒也许嚎叫：“灭人就像踩死个蚂蚁”，但还没有谁敢说：“灭亡蚂蚁”，真的很难！而且不是一般的难，所以，对于生命体生存是大道理，世界上的人种黄、白、黑、棕，谁最聪明？谁最强大？各有各的理，但几千年了，那个种族生生不息，那个种族人口数量多，那个种族文明历史长，扒拉手指数一数：“还有谁”，强大的人种不用文字说，不用任何大声喊：人类不太长的历史就已经说明道理，最后告诉大家：“木匠是中国人中很聪明的一拨”！

lijian3333 · 发表于 2021-1-10 00:11:09

采用磨制滚珠丝杆精度会更好些

lukyo · 发表于 2021-1-11 13:41:35

1、凸透镜的原理，就是一大束平行光线经过凸透镜能够汇聚成点的那种，电路图的模板可以做得很大，一束平行光打在电路图上，经过凸透镜就能够变得很小很小，这个镜头就要求缩小之后图像不交叉，不变形。
2、极紫外光，光是有波粒二象性的，就是说光是一种波，波有波峰波谷是波动的，波长越大振幅越大，经过凸透镜的成像就越模糊，不利于成像，所以要求波长很短的光线，目前是极紫外光。
3、光刻胶，光刻胶是很薄很薄很薄的一层覆盖在硅片上的，硅片上先沉积一层氧化锌，然后再覆盖一层光刻胶，紫外线照到的地方，形成电路，可以被洗掉，洗掉之后再把下一层的氧化锌腐蚀掉，就把硅底裸露出来了，然后裸露的电路槽里再沉降金，就形成电路了。大概是这个意思，不要细想。
4、为什么像cnc，因为有些部件要移动。其实对移动的要求也很高，主要是移动那个很大的电路图，就是模板，模板的变化导致成像的位置变化，那么一个晶元有12寸的，上面要刻几百个芯片呢，如何在电路图移动的时候，成像不变形，有许多补偿措施的。其难度是远远超过cnc那种精度的。

chattreaty · 发表于 2021-1-11 16:47:18

lukyo 发表于 2021-01-11 13:41$ }9 n) `( B4 r9 j2 T" N
1、凸透镜的原理，就是一大束平行光线经过凸透镜能够汇聚成点的那种，电路图的模板可以做得很大，一束平行光打在电路图上，经过凸透镜就能够变得很小很小，这个镜头就要求缩小之后图像不交叉，不变形。
/ H1 x1 A7 Z1 K, I8 R2、极紫外光，光是有波粒二象性的，就是说光是一种波，波有波峰波谷是波动的，波长越大振幅越大，经过凸透镜的成像就越模糊，不利于成像，所以要求波长很短的光线，目前是极紫外光。0 k" n( N4 R5 Q1 |) {
3、光刻胶，光刻胶是很薄很薄很薄的一层覆盖在硅片上的，硅片上先沉积一层氧化锌，然后再覆盖一层光刻胶，紫外线照到的地方，形成电路，可以被洗掉，洗掉之后再把下一层的氧化锌腐蚀掉，就把硅底裸露出来了，然后裸露的电路槽里再沉降金，就形成电路了。大概是这个意思，不要细想。
& X% `: C) E( v2 ~4、为什么像cnc，因为有些部件要移动。其实对移动的要求也很高，主要是移动那个很大的电路图，就是模板，模板的变化导致成像的位置变化，那么一个晶元有12寸的，上面要刻几百个芯片呢，如何在电路图移动的时候，成像不变形，有许多补偿措施的。其难度是远远超过cnc那种精度的。

专业啊，数字集成电路设计就够复杂的了，制造真是不敢想象

COOOOK · 发表于 2021-1-21 07:25:34

病毒？多大？有钱不是能鬼推磨吗？请点病毒给我们打工…专门拿出个县来养病毒，日夜不停的肯芯片！

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